直線度誤差是指實(shí)際直線對(duì)理想直線的變化量，反映了被測(cè)直線的不直程度。根據(jù)ISO*的標(biāo)準(zhǔn)和國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，直線度誤差可分為給定平面內(nèi)的直線的誤差、給定方向的直線度誤差和任意方向內(nèi)的直線度誤差。通常，給定平面內(nèi)的直線度誤差和給定方向內(nèi)的直線度誤差被稱為平面直線度誤差，任意方向內(nèi)的直線度誤差被稱為空間直線度誤差。

深孔表面為回轉(zhuǎn)體表曲，深孔直線度公差帶根據(jù)要素的特征及其使用要求，分為限制圓柱面直母線形狀誤差的兩平行直線和限制圓柱體軸線形狀誤差的圓柱體兩種。深孔直線度檢測(cè)是精密深孔零件加工過(guò)程中的重要組成部分，是對(duì)深孔零件進(jìn)行質(zhì)量控制和管理的重要手段。是貫徹質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)的技術(shù)保證，有著極其重要的意義。

本文介紹的是激光測(cè)量法對(duì)深孔內(nèi)徑直線度進(jìn)行檢測(cè)的方法。檢測(cè)設(shè)備的基本原理是利用直線性非常好的激光為參照，通過(guò)PSD傳感器可精確定位光的能量中心位置的功能來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)內(nèi)孔直線度的檢測(cè)。

直線度測(cè)量?jī)x軟件圖：

PSD是利用離子注入技術(shù)制成的一種可確定光的能量中心位置的結(jié)型光電器件，它的優(yōu)點(diǎn)主要有：1、對(duì)光斑形狀無(wú)嚴(yán)格要求，在光聚焦不理想的情況下也不影響測(cè)量精度；2、光敏面上無(wú)象限分割線，消除了測(cè)量死區(qū)；3、對(duì)光斑位置可連續(xù)測(cè)量。4、測(cè)量精度高，一維精度可達(dá)0.2um。本方案選取的PSD為二維的，光的能量中心位置以“X軸，Y軸”的坐標(biāo)值顯示（如圖1所示），測(cè)量精度為±15um。計(jì)入其他誤差后檢測(cè)精度為±0.05mm。

PSD芯片監(jiān)測(cè)到的激光能量中心位置信號(hào)將通過(guò)數(shù)據(jù)采集電路采集、放大并進(jìn)行數(shù)字化處理后傳輸?shù)缴衔粰C(jī)進(jìn)行處理。

總之，集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等新技術(shù)于一體的新型激光準(zhǔn)直測(cè)量?jī)x器，可以對(duì)深孔零件進(jìn)行實(shí)時(shí)快速非接觸測(cè)量，是精密深孔直線度測(cè)量技術(shù)的發(fā)展方向。