測量范圍

X方向

100mm

Z1（傳感器）

20mm

高度

300mm

*小內孔

30mm (換小測針可測更小內徑)

測量范圍

（粗造度）

X軸

Ra： 0.005 um ~ 16.00 um  

Z1軸

±20um，±40um，±80um

取樣長度L

0.25 ， 0.80 ， 2.50，自動

評定長度

1L~5L（可選，L為取樣長度）

測量行程長度

3L~7L（可選，L為取樣長度）

測量精度

X方向

（L=X軸移動導軌距離）

±（1+2L/100）μm

Z方向

（H=Z軸方向測量高度）

±（1.8+3H/100）μm

示值精度（粗造度）

0.001um

示值誤差（粗造度）

≤±7%

傳感器

類型

電感傳感器

分辨率

0.02μm

產(chǎn)地

進口

X軸

直線度

0.20μm /60mm

分辨率

0.5μm

產(chǎn)地

進口

爬坡角度

上升77度 下降88度

測針

針尖形狀（輪廓）

單切面、錐形

針尖角度（粗糙度）

90度

測量速度（輪廓）

0.02mm至4.0mm/s

速度（粗造度）

*大驅動行程長度

17.5mm / 0.71 inch

*小驅動行程長度

1.3mm / 0.052 inch

測量方式

傳感器移動

工作壓力

0.35～0.43Mpa

氣源壓力

0.45～0.80Mpa

氣源流量

≥0.2 m³/min

電源

AC 220V±10%  50Hz

環(huán)境要求

溫度：10～30℃；相對濕度：＜85%