NewView 7100白光干涉儀是高性?xún)r(jià)比非觸摸式外表輪廓儀。NewView 7100外表輪廓儀以其的精細(xì)度和準(zhǔn)確度定性和定量地反映出樣品的外表粗糙度、臺(tái)階高度、關(guān)鍵部位的尺度以及樣品的描摹。測(cè)量過(guò)程精細(xì)，高速，非觸摸，且樣品無(wú)需特別處理。在高速掃描狀態(tài)下縱向測(cè)量規(guī)模能夠從小于1nm至20000μm，基于ZYGO的掃描技能。無(wú)論怎樣的外表描摹，擴(kuò)大倍數(shù)以及臺(tái)階特性，NewView 7100系列只需一次掃描即可到達(dá)0.1nm的縱向分辨率，并獲得一切的被測(cè)參數(shù)。

　　體系參數(shù):

　　◆原理:非觸摸、三維白光掃描干涉儀

　　◆掃描裝置:閉環(huán)反饋壓電陶瓷，高線(xiàn)性電容傳感器,

　　◆視場(chǎng)擴(kuò)大倍率：高質(zhì)量分立擴(kuò)大倍率鏡頭：0.5×,0.75倍率:×,1.0×,1.5×,2.0×

　　◆成像擴(kuò)大:電動(dòng)3位體系成像擴(kuò)大

　　◆視場(chǎng):0.03-14mm，跟物鏡和擴(kuò)大倍率有關(guān),運(yùn)用圖像拼接技能能夠得到更大規(guī)模

　　◆光源:均勻成像，高效率，特別設(shè)計(jì)長(zhǎng)壽命白光LED物鏡座標(biāo)配:可快速裝卸單物鏡夾具

　　◆操控:濾光板托架，視場(chǎng)光闌（輔佐聚集）

　　◆測(cè)量陣列:標(biāo)配640×480像素；可選更高分辨率992×992

　　◆樣件調(diào)查:專(zhuān)用液晶顯示屏實(shí)時(shí)調(diào)查

　　◆精細(xì)聚集:電控手動(dòng)和自動(dòng)聚集

　　◆Z軸驅(qū)動(dòng):直流無(wú)刷微步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，200mm行程,0.1μm精度

　　◆尺度:157×132×89cm，NewView：81×58×41cm，

　　◆分量:體系分量：約430Kg

　　◆輸入電壓:100-240VAC,50/60 Hz

　　◆計(jì)算機(jī):帶液晶顯示器的高性能DELL計(jì)算機(jī)

　　◆軟件:ZYGO MetroPro軟件

　　◆物鏡座:可快速裝卸單物鏡夾具,選件:手動(dòng)6位塔臺(tái)；電控6位塔臺(tái)；

　　◆物鏡：1X,2X,2.5X,5X,10X,20X,50X,100X

　　◆樣品臺(tái):手動(dòng),俯仰.傾斜(±6°)和XY平移(±100mm),電動(dòng),俯仰(±4°)和XY平移(152mm)電動(dòng),俯仰(±4°)X-Theta(orY-Theta）和XY平移(152mm)三種可選.

　　◆縱向掃描:150μm，拓展掃描形式可到20mm,

　　◆縱向分辨率＜0.1nm,橫向分辨率0.36～9.5μm，與所選物鏡有關(guān),

　　◆掃描速度≤26μm/sec,與所選的CCD和掃描形式有關(guān)

　　◆zui大數(shù)據(jù)點(diǎn):標(biāo)準(zhǔn)307200；可選984064；

　　◆RMS重復(fù)性＜0.01 nm，RMSσ

　　◆臺(tái)階測(cè)量:準(zhǔn)確度≤0.75%;重復(fù)性≤0.1% 1σ

　　◆測(cè)樣品特性:各種材料的外表：通明，不通明，鍍膜,非鍍膜，反射，弱反射

　　◆zui大尺寸:89×203×203mm(高×寬×長(zhǎng));反射率:1-99.99%