輪廓儀部分

測(cè)量范圍（輪廓）

X軸（橫導(dǎo)軌）

320mm

Z1軸（傳感器）

60mm

Z軸（立柱）

500mm

X軸距離測(cè)量精度

±(1+L/300)μm

(L=X軸導(dǎo)軌移動(dòng)距離,單位：mm)

Z1軸測(cè)量精度

±(+6H/100) μm

(H=Z1軸方向測(cè)量高度,單位：mm)

X軸橫臂

直線度

μm/60mm

光柵分辨率

μm

光柵產(chǎn)地

美國(guó)microe

Z1軸傳感器

分辨率

μm

傳感器

數(shù)字傳感器

產(chǎn)地

美國(guó)microe

移動(dòng)方向

前/后雙方向

測(cè)力

測(cè)針形狀

硬質(zhì)合金R：mm

測(cè)針長(zhǎng)度

20mm

測(cè)桿長(zhǎng)度

150mm

爬坡角度

上升77度下降88度

速度（輪廓）

測(cè)量速度

/s,mm/s,mm/s,/s,/s,/s,/s,/s(8個(gè))

定位速度

/s,mm/s,/s,/s,/s,/s,/s,/s(8個(gè))

綜合調(diào)整臺(tái)

X軸水平傾斜調(diào)整范圍：±30°

Y軸方向調(diào)整范圍：±

Z軸回轉(zhuǎn)可調(diào)360度（帶微調(diào)裝置）

承載重量

120KG

圖形放大

可任意縮小、放大

粗糙度部分

測(cè)量范圍（粗造度）

X軸

Ra： um~ um

Z1軸

±20um，±40um，±80um

取樣長(zhǎng)度L

，0，，自動(dòng)

評(píng)定長(zhǎng)度

1L~5L（可選，L為取樣長(zhǎng)度）

測(cè)量行程長(zhǎng)度

3L~7L（可選，L為取樣長(zhǎng)度）

示值精度（粗糙度）

示值誤差（粗糙度）

≤±7%

測(cè)針（粗糙度）

針尖角度

90°

速度（粗糙度）

大驅(qū)動(dòng)行程長(zhǎng)度

1 / inch

小驅(qū)動(dòng)行程長(zhǎng)度

/ 2 inch

使用要求

測(cè)量使用要求

工作壓力

～

氣源壓力

～0Mpa

氣源流量

≥3/min

電源

AC 220V±10% 50Hz

環(huán)境要求

溫度：10～30℃；相對(duì)濕度：＜85%