三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x是指在一個(gè)六面體的空間范圍內(nèi)，能夠表現(xiàn)幾何形狀、長(zhǎng)度及圓周分度等測(cè)量能力的儀器，又稱為三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)或三坐標(biāo)量床。三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x又可定義“一種具有可作三個(gè)方向移動(dòng)的探測(cè)器，可在三個(gè)相互垂直的導(dǎo)軌上移動(dòng)，此探測(cè)器以接觸或非接觸等方式傳遞訊號(hào)，三個(gè)軸的位移測(cè)量系統(tǒng)（如光柵尺）經(jīng)數(shù)據(jù)處理器或計(jì)算機(jī)等計(jì)算出工件的各點(diǎn)（x，y，z）及各項(xiàng)功能測(cè)量的儀器”。三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x的測(cè)量功能應(yīng)包括尺寸精度、定位精度、幾何精度及輪廓精度等。

　　單支柱測(cè)量臺(tái)移動(dòng)型三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x介紹：

　　單支柱測(cè)量臺(tái)移動(dòng)型，軸為主軸在垂直方向移動(dòng)，支柱上附有軸導(dǎo)槽，支柱被固定在測(cè)量?jī)x本體上。測(cè)量時(shí)，測(cè)量臺(tái)在水平面上沿著軸和軸方向作移動(dòng)。

　　軸移動(dòng)懸臂型三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x介紹：

　　軸移動(dòng)懸臂型，軸為主軸在垂直方向移動(dòng)，廂形架導(dǎo)引主軸沿著垂直軸的水平懸臂梁在軸方向移動(dòng)，懸臂梁沿著在水平面的導(dǎo)槽在軸方向移動(dòng)，且垂直于軸和軸。此型為三邊開放，容易裝拆工件，且工件可以伸面即可容納較大工件，但因懸臂會(huì)造成精度不高。

　　移動(dòng)橋架型三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x介紹：

　　移動(dòng)橋架型，為常用的三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x的結(jié)構(gòu)，軸為主軸在垂直方向移動(dòng)，廂形架導(dǎo)引主軸沿水平梁在方向移動(dòng)，此水平梁垂直軸且被兩支柱支撐于兩端，梁與支柱形成“橋架”，橋架沿著兩個(gè)在水平面上垂直和軸的導(dǎo)槽在軸方向移動(dòng)。因?yàn)榱旱膬啥吮恢е危钥傻玫叫〉膿隙?，且比懸臂型有較高的精度。

　　三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x機(jī)型介紹：

　　結(jié)構(gòu)型式：三軸花崗巖、四面全環(huán)抱的德式活動(dòng)橋式結(jié)構(gòu)

　　傳動(dòng)方式：直流伺服系統(tǒng) 預(yù)載荷高精度空氣軸承

　　長(zhǎng)度測(cè)量系統(tǒng)：RENISHAW開放式光柵尺，分辨率為0.1μm

　　測(cè)頭系統(tǒng)：雷尼紹控制器、雷尼紹測(cè)頭、雷尼紹測(cè)針

　　機(jī) 臺(tái)：高精度（00級(jí)）花崗巖平臺(tái)

　　使用環(huán)境：溫度(20±2)℃，濕度40%-70% ，溫度梯度1℃/m，溫度變化 1℃/h

　　空氣壓力：0.4 MPa - 0.6 Mpa

　　空氣流量：25 L/min

　　長(zhǎng)度精度MPEe： ≤2.1 L/350 (μm)

　　探測(cè)球精度MPEp： ≤2.1μm

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