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pulstec 的LUCAS Nano 波紋度測(cè)量 裝置/透鏡裝置波前測(cè)量系統(tǒng)
pulstec 的LUCAS
裝置/透鏡裝置
特征
◆盧卡斯-努克
這是一個(gè)以低廉的價(jià)格實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的實(shí)時(shí)波紋度測(cè)量的系統(tǒng)。
它具有較寬的高度測(cè)量范圍，可以測(cè)量白色干涉儀難以一
次測(cè)量的起伏。
它體積小、重量輕，可以集成到各種設(shè)備中。
可進(jìn)行實(shí)時(shí) [0.1 秒（最大）] 波紋度測(cè)量。
◆盧卡斯
這是鏡頭單元檢查和調(diào)整系統(tǒng)。
它具有較寬的動(dòng)態(tài)范圍，可以測(cè)量干涉儀難以測(cè)量的大像差。
除了波前的傳感器之外，底座單元還內(nèi)置有自準(zhǔn)直儀、可用作測(cè)
量光的激光光源以及便于調(diào)節(jié)的對(duì)準(zhǔn)相機(jī)。
可根據(jù)需要選配各種附件（擴(kuò)束鏡、聚光鏡、參考球等）。
使用示例
◆盧卡斯-努克
半導(dǎo)體晶圓波紋度測(cè)量
平面基底上金屬薄膜波紋度的測(cè)量
金屬和玻璃表面波紋度的測(cè)量
硬盤表面波紋度的測(cè)量
◆盧卡斯
非球面透鏡和凹/凸透鏡的檢查
鏡頭單元和光學(xué)裝置的調(diào)整
檢查平面物體的反射和透射波前的
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