緊湊型膜厚監(jiān)控儀是一種反射分光光度計，使用小型反射探頭，適用于從

實驗室水平到生產(chǎn)過程中在線100%檢測的所有情況。它具有出色的可維

護性，可用于過程設備和生產(chǎn)線管理。
最多可同時測量9種類型的透明薄膜。
它可用作各種多層薄膜工藝的在線或終點監(jiān)控器。
緊湊型探針可以安裝在加工工具內(nèi)部的小空間中。還可以通過使用EMA理

論來判斷混合層的混合比或多晶硅的結(jié)晶度。

緊湊型光纖探頭

可以安裝在加工工具內(nèi)部的小空間中

膜厚測量0.1nm (3o) 的重復性好

可測量多達9層的多層膜厚度

使用旋涂機檢測終點的視頻

可選擇光源

光源

白光LED

鎢合金

Deuterlum鹵素

波長范圍(nm)

430-700

400-900

220900

無線 (選項)

包含膜厚終點檢測軟件

靶厚度范圍 (nm)典型使用壽命 (小時)

50--50,000

50--50,000

10--30,000

>50.000

10,000

1,000

電影1:終端監(jiān)視器的演示1

電影2:終端監(jiān)視器的演示2

材料分析功能

用EMA評價復合材料的混合比

自動映射階段 (選件)

結(jié)晶度與光學常數(shù)分析