這種新型紫外LED光源由OAI久經(jīng)考驗的光刻專家設(shè)計和制造。該光源提供了許多獨的特的好處，

其中最重要的是在異常長的壽命內(nèi)保持一致的強度。該光源非常節(jié)能，無需維護或更換光源，

并且不含汞。

OAI紫外LED光源提供的光束大小在4”和12”之間，光束均勻性優(yōu)于+/- 4%。它具有一個棱

鏡陣列和光導(dǎo)管，以實現(xiàn)卓的越的均勻性。準直角度小于2度。這種光源具有可變的強度，波長

為365納米、405納米或兩者的組合。功能包括劑量控制和定時曝光。易于使用，OAI光源使

用觸摸屏界面，并有一個USB遠程接口。

UV光源提供多種選擇，包括重型支架、用于光刻印刷的工具模塊以及單波長或多波長版本。

該系統(tǒng)可以集成到任何OAI光刻系統(tǒng)中。