【最的適的合曝光裝置的溫度管理】Apiste精密空調(diào)機(jī)PAU系列

【最的適的合曝光裝置的溫度管理】Apiste精密空調(diào)機(jī)PAU系列

只需連接就能簡(jiǎn)單地實(shí)現(xiàn)精密空調(diào)。自由調(diào)溫包圍的空間的Apiste的精密空調(diào)機(jī)PAU系列

[最的適的合曝光裝置的溫度管理]精密空調(diào)機(jī)PAU系列

在曝光裝置中，為了抑制光掩模的膨脹和收縮，

你需要供應(yīng)冷風(fēng)，以穩(wěn)定溫度。

PAU機(jī)組可實(shí)現(xiàn)要求溫度、濕度、清潔度的空氣。

進(jìn)行局部空間的空調(diào)的“PAU系列”包括：

與整體空調(diào)相比，可以抑制能量消耗，更不用說(shuō)高精度的溫度管理，

即使對(duì)于困難的濕度，也可以根據(jù)需要進(jìn)行從低濕環(huán)境到潮濕環(huán)境的精密控制。

此外，通過(guò)與風(fēng)扇過(guò)濾器單元的組合，可以輕松實(shí)現(xiàn)廣泛的清潔度管理。