AML英國(guó)制造 MEMS傳感器有源皮拉尼和壓電計(jì) AGP-1真空測(cè)量 概觀(guān)

MEMS有源皮拉尼和壓電計(jì)

AGP主動(dòng)皮拉尼·高格黑德

AGP Active Pirani Gaugehead

AGP皮拉尼規(guī)結(jié)合了尖的端的MEMS傳感器技術(shù)、精密的數(shù)字信號(hào)處理和先進(jìn)的測(cè)量算法。

概觀(guān)

• 1 x 10的測(cè)量范圍

  -6

  至1200毫巴（7.5 x 10

  -7

  至900托）
• 超寬范圍高性能MEMS傳感器
• 先進(jìn)創(chuàng)新的數(shù)字信號(hào)處理
• 從5到1200毫巴的精密氣體獨(dú)立傳感器
• 可安裝在任何方向，不影響性能
• 可編程電壓輸出信號(hào)
• 數(shù)字RS-232接口
• 一個(gè)用于過(guò)程控制的固態(tài)設(shè)定點(diǎn)
• 10巴（145磅/平方英寸）的高過(guò)壓容限
• 堅(jiān)固、緊湊的不銹鋼法蘭和外殼設(shè)計(jì)

傳感器的設(shè)置和參數(shù)是用戶(hù)可編程的串行接口，使診斷，

預(yù)測(cè)性維護(hù)，服務(wù)，校準(zhǔn)，設(shè)定值配置，模擬輸出縮放

和實(shí)時(shí)真空壓力測(cè)量的采集。提供多種模擬輸出縮放選

項(xiàng)，以模擬其他供應(yīng)商的真空計(jì)和傳感器。

■ Measurement range: 1 x 10-6 mBar to 1333 mBar (7.5 x 10-7 to 1000 Torr)

■ Ultra-wide range high performance MEMS Pirani sensor 

■ Advanced innovative digital signal processing

■ Precision gas-independent sensor from 5 to 1333 mBar 

■ 0 - 10 Vdc programmable voltage output 

■ Mountable in any orientation without impact on performance 

■ Programmable voltage output signal 

■ Digital RS-232 interface 

■ One solid-state relay for process control 

■ High overpressure tolerance of 10 bar (145 psi) absolute 

■測(cè)量范圍:1 x 10-6毫巴至1333毫巴（7.5 x 10-7至1000托）

■超寬范圍高性能MEMS Pirani傳感器

■先進(jìn)的創(chuàng)新數(shù)字信號(hào)處理

■5~1333 mBar的精密氣體獨(dú)立傳感器

■0-10 Vdc可編程電壓輸出

■可在任何方向安裝，不影響性能

■可編程電壓輸出信號(hào)

■Digital RS-232 interface

■一個(gè)用于過(guò)程控制的固態(tài)繼電器

■絕對(duì)超壓耐受性高，可達(dá)10 bar（145 psi）