日本takano 晶圓視覺檢測設(shè)備Vi系列

我們高速、高精度地檢查晶圓布線圖案、裂紋、異物污染等產(chǎn)品外觀。

●產(chǎn)品信息

Vi系列規(guī)格

        Vi-4207R、C               Vi-4307M，C               Vi-5301M  

晶圓尺寸         ～200毫米          ～300毫米                   ～300毫米

處理                 機器人                          機器人                         機器人

裝載機     打開盒式磁帶                開放式盒式磁帶、FOUP、FOSB

缺陷尺寸(μm)             1.2/ 2.4/5.0（物鏡10x/5x/2.5x）     

尺寸         W2280xD1140xH2060    W2280xD1140xH2060  寬2600x深1440x高1790

重量                 1650公斤                    1700公斤                2800公斤

應(yīng)用    CMOS圖像傳感器、功率器件、RF濾波器、MEMS、玻璃、TAIKO晶圓

1. 缺陷示例

2、按區(qū)域（層）分類精細檢測

●區(qū)域分類根據(jù)器件圖案的特征實現(xiàn)多種檢測靈敏度和容差。

●每個區(qū)域都可以有檢查參數(shù)。

3.通過各種照明和彩色圖像來精細化圖像

●灰度檢測無法檢測到的缺陷可以通過彩色檢測來檢測。

●各種光的組合使看不見的缺陷變得可見。