美國KRi霍爾離子源eH1000產(chǎn)品特性介紹

2025年03月11日 16:49:57 人氣: 81 來源: 東莞市廣聯(lián)自動(dòng)化科技有限公司

美國KRi霍爾離子源eH1000低成本設(shè)計(jì)提供高離子電流, 特別適合中型真空系統(tǒng). 實(shí)現(xiàn)離子輔助鍍膜, 預(yù)清洗和低能量離子蝕刻.

尺寸: 直徑= 5.7“ 高= 5.5”

放電電壓 / 電流: 50-300V / 10A

工藝氣體: Ar, Xe, Kr, O2, N2, 有機(jī)前體

美國KRi霍爾離子源eH1000產(chǎn)品特性介紹如下：

• 可拆卸陽極組件 - 易于維護(hù); 維護(hù)時(shí), 最大限度地減少停機(jī)時(shí)間; 即插即用備用陽極

• 寬波束高放電電流 - 高電流密度; 均勻的蝕刻率; 刻蝕效率高; 高離子輔助鍍膜 IAD 效率

• 多用途 - 適用于 Load lock / 超高真空系統(tǒng); 安裝方便; 無需水冷

• 等離子轉(zhuǎn)換和穩(wěn)定的功率控制

型號(hào)	eH1000 / eH1000L / eH1000x02/ eH1000LEHO
供電	DC magnetic confinement
- 電壓	40-300V VDC
- 離子源直徑	~ 5 cm
- 陽極結(jié)構(gòu)	模塊化
電源控制	eHx-30010A
配置	-
- 陰極中和器	Filament, Sidewinder Filament or Hollow Cathode
- 離子束發(fā)散角度	> 45° (hwhm)
- 陽極	標(biāo)準(zhǔn)或 Grooved
- 水冷	前板水冷
- 底座	移動(dòng)或快接法蘭
- 高度	4.0'
- 直徑	5.7'
- 加工材料	金屬電介質(zhì) 半導(dǎo)體
- 工藝氣體	Ar, Xe, Kr, O2, N2, Organic Precursors
- 安裝距離	10-36”
- 自動(dòng)控制	控制4種氣體

東莞市廣聯(lián)自動(dòng)化科技有限公司專業(yè)供應(yīng)進(jìn)口電磁閥、氣缸、泵、傳感器、繼電器、開關(guān)、離合器、過濾器、濾芯、流量計(jì)、液位計(jì)、編碼器、伺服閥等產(chǎn)品。德國美國有公司，廠家一手貨源，詳請致電。

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