Tergeo系列臺(tái)式等離子清洗機(jī)

等離子體清洗、蝕刻、表面處理

產(chǎn)生氧氣、氬氣、氮?dú)?、氫氣、CF4、SF6、環(huán)境空氣或其他混合氣體等離子體，以灰化光刻膠、在

圖案化后去渣、蝕刻二氧化硅和氮化物、去除碳?xì)浠衔锖推渌砻嫖廴疚铩⒏淖儽砻婺懿⑻岣呓Y(jié)合

強(qiáng)度。Tergeo系列等離子體系統(tǒng)是需要在低壓下操作的真空等離子體系統(tǒng)。槍膛直徑為4.3英寸/110

毫米、6.3英寸/160毫米和9英寸/230毫米。腔體的深度為11英寸/280毫米或13.4英寸/340毫米。這

是一種低成本、高性能的實(shí)驗(yàn)室等離子體清潔器，建立在等離子和離子束技術(shù)組在勞倫斯伯克利國家

實(shí)驗(yàn)室。

Tergeo系列等離子體系統(tǒng)在全球?qū)W術(shù)界廣的受的好的評(píng)。這兩年提到太地等離子體系統(tǒng)的科學(xué)論文爆了！

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學(xué)術(shù)界的用戶群將繼續(xù)快速增長(zhǎng)，因?yàn)槲覀優(yōu)閷W(xué)術(shù)界帶來了最新的等離子技術(shù)，并以可承受的價(jià)格構(gòu)

建了多功能、可靠、性能可重復(fù)的等離子系統(tǒng)。